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  在半导体设备制作范畴，一项被国外长时间独占的要害技能迎来打破。记者近来从河海大学得悉，河海大学姑苏研讨院仿生机器人技能团队与企业严密协作，成功研宣布“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制作范畴完成重要使用，为我国半导体设备整机配备制作处理了要害技能难题。

  长时间以来，真空环境超洁净晶圆传送机械臂作为半导体晶圆生产线的“神经中枢”，大范围的使用于光刻机、刻蚀机等要害设备，其功能直接决议芯片制作的精度与功率。但是，该类设备长时间被日本乐兹（Rorze）、美国布鲁克斯（Brooks）等企业独占，且被列入禁运产品目录，极度影响工业链安全。

  “半导体工业要打破，要害设备的‘自主可控’是必经之路。”河海大学团队负责人徐林森教授介绍说，“效果研制进程选用了产学研结合的方法展开，以企业为主体，咱们研讨团队与北京航空航天大学等优势单位联合展开，各方发挥本身优势进行要害技能攻关。”

  历经多轮技能迭代，该效果已完成多项要害打破：机械体系选用集成化驱动与磁流体密封技能，处理了真空环境下的洁净度操控难题；根据国产操作体系构建的实时操控办理体系，完成纳秒级呼应精度；立异研制的差错补偿算法，将机械臂重复定位精度操控在±0.05mm，水平方向振荡降至 0.2g，各项目标均到达世界先进水平。

  徐林森说：“这项技能的工业化，不只提高了企业的研制与办理上的水准，更推进了集成电路配备与机器人、智能制作技能的深层次地交融。”该效果将加快集成电路配备国产化进程，助力培养工业立异新生态，为我国集成电路工业链自主发明新式事物的才能提高供给中心支撑。

  现在，该机械臂已成功导入多家职业标杆企业，在薄膜堆积、刻蚀等要害制程中安稳运转，设备工艺适配性获客户高度认可，累计完成出售的收益约 1300 万元。

  与此一起，团队帮忙企业牵头编制《真空晶圆转移机器人查验收取规范》集体规范，推进国产设备与世界规矩对接；已获国家发明专利 6 件、实用新型专利 2 件及软件著作权 2 项，构建起坚实的技能壁垒。

  关于未来，团队表明将持续聚集5G通讯、人工智能芯片等高端使用范畴，供给定制化传输处理方案。一起，依托在晶圆传送机械臂范畴的技能堆集，立异性展开设备创新与晋级服务，打造“设备出售+增值服务”的双轮驱动形式。